日本KASUGA 春日微波等離子體除靜電系統

產品簡介
日本KASUGA 春日微波等離子體除靜電系統，在真空中，由于缺乏能夠緩解靜電的氣體成分，靜電問題比大氣環境更為嚴重，成為更為嚴重的生產障礙。微波等離子體去靜電處理系統能夠在傳統難以處理的高真空過程中實現去靜電。

產品型號：MPNS-01

更新時間：2026-01-05

廠商性質：經銷商

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日本KASUGA 春日微波等離子體除靜電系統
在真空中，由于缺乏能夠緩解靜電的氣體成分，靜電問題比大氣環境更為嚴重，成為更為嚴重的生產障礙。微波等離子體去靜電處理系統能夠在傳統難以處理的高真空過程中實現去靜電。
日本KASUGA 春日微波等離子體除靜電系統

概要

在真空中，由于缺乏能夠緩解靜電的氣體成分，靜電問題比大氣環境更加嚴重，成為嚴重的生產障礙。普通的靜電消除器（離子發生器）同樣由于氣體成分稀薄，無法生成足夠的離子來實現靜電消除。

微波等離子體除靜電系統可以在傳統難以實現的高真空過程中進行除靜電。

測定的離子電流值即使在薄膜的輸送速度為1000m/min時也是可靜電中和的值。
除電范圍是無障礙物的情況下，也能在距離2米的地方進行除電。

日本 KASUGA 春日 MPNS-01 是一款專為真空環境打造的高-端除靜電系統，核心依托與 JAXA 聯合研發的離子發動機技術，將航天級微波等離子體技術成功民用化。

該系統突破傳統離子器局限，可在 10?3～10??Pa 高真空條件下穩定生成等離子體，無需依賴壓縮空氣輸送離子，從根源避免氣流帶來的顆粒污染與壓力波動。其除電性能優異，無障礙物時覆蓋范圍可達 2m，即便工件以 1000m/min 高速輸送仍能高效除電，離子分布均勻且無二次污染，契合精密制程的潔凈要求。

系統采用模塊化設計，安裝靈活且無需大幅改造原有設備，可與真空腔體控制系統聯動實現自動化同步除電。非接觸式除電方式避免工件劃傷，無易損放電電極大幅降低維護成本，廣泛適配半導體晶圓鍍膜、液晶玻璃貼合、柔性薄膜卷繞等場景，是真空制程靜電管控的高效解決方案。