




產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本KASUGA 春日真空兼容靜電電位傳感器,在真空中,由于缺乏能夠緩解靜電的氣體成分,靜電問(wèn)題比大氣壓環(huán)境更嚴(yán)重,成為更為嚴(yán)重的生產(chǎn)障礙。 真空用靜電電位傳感器使用能夠在真空環(huán)境中使用的材料和部件,用于測(cè)量真空內(nèi)產(chǎn)生的靜電。請(qǐng)用于真空工藝中靜電產(chǎn)生的原因識(shí)別和靜電電位的連續(xù)監(jiān)控。
產(chǎn)品分類
日本KASUGA 春日真空兼容靜電電位傳感器
在真空中,由于缺乏能夠緩解靜電的氣體成分,靜電問(wèn)題比大氣壓環(huán)境更嚴(yán)重,成為更為嚴(yán)重的生產(chǎn)障礙。
真空用靜電電位傳感器使用能夠在真空環(huán)境中使用的材料和部件,用于測(cè)量真空內(nèi)產(chǎn)生的靜電。請(qǐng)用于真空工藝中靜電產(chǎn)生的原因識(shí)別和靜電電位的連續(xù)監(jiān)控。
日本KASUGA 春日真空兼容靜電電位傳感器
| 型式 | KS-3101 |
|---|---|
| 檢測(cè)方式 | 振動(dòng)型表面電位傳感器 |
| 使用推薦真空度 | 10 5Pa(大氣壓)、10 -1~10 -5Pa |
| 測(cè)定范圍 | HIGH范圍:0~±20.0kV(測(cè)量距離100mm) LOW量程:0~±2000V(測(cè)量距離10mm) |
| 測(cè)定精度 | ±10%以內(nèi) |
| 警報(bào) | 檢測(cè)傳感器故障LED顯示 |
| 使用環(huán)境 | 溫度0~40℃、濕度65%以下(無(wú)冷凝現(xiàn)象) |
| 質(zhì)量 | 約130g(不含電纜和控制盒) |
| 構(gòu)成必需品 | 真空用電纜:KS-3101-C01(電纜長(zhǎng)度1米,可延長(zhǎng)) 控制盒:KS-3101-B05(附帶大氣側(cè)電纜5米,可延長(zhǎng)) 控制器 :KSD-0110 |
※真空法蘭請(qǐng)客戶自行準(zhǔn)備。
根據(jù)從傳感器釋放的排氣分析,氣體的主要成分確認(rèn)為水和微量的碳?xì)浠衔铩8鱾€(gè)峰值與在背景中測(cè)量的峰值相同,因此認(rèn)為這些氣體來(lái)源于從環(huán)境中吸附到傳感器表面的氣體。






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