Simco-Ion, Technology Group的 Novx Series 7000 過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)是一款多用途的基于微處理器的儀器，用于在工作站和過(guò)程中監(jiān)測(cè)關(guān)鍵的靜電相關(guān)參數(shù)。六個(gè)專用通道定制了該儀器用于監(jiān)測(cè)場(chǎng)電壓檢測(cè)/離子發(fā)生器平衡、ESD事件、人體電壓檢測(cè)或接地監(jiān)控和粒子計(jì)數(shù)。

• 智能信號(hào)處理

• 多種傳感器和天線款式

• 菊花鏈?zhǔn)剑籖S-485或以太網(wǎng)輸出

• ESD事件檢測(cè)跟蹤

• 三種現(xiàn)場(chǎng)電壓監(jiān)測(cè)選項(xiàng)

• 用戶可編程的報(bào)警設(shè)定點(diǎn)和自動(dòng)消息通知

• 閉-loop控制到工具計(jì)算機(jī)

• 插件模塊允許工廠升級(jí)
  美國(guó)SIMCO思美高過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)
  

• 規(guī)格

• 現(xiàn)場(chǎng)感知
  輸入電壓	±15 - ±5000V
  輸出電壓	0 - ±5.0
  準(zhǔn)確性	±1V 用于 <20V；±5% 用于 >20V
  ESD事件檢測(cè)	CDM / HBM
  粒子計(jì)數(shù)器界面	數(shù)據(jù)采集
  身體電壓 檢測(cè)
  施加電壓	<0.5V
  準(zhǔn)確性	±0.5V
  接地監(jiān)測(cè)
  范圍	1-20 歐姆
  施加電壓	<0.5V
  準(zhǔn)確性	0.5 歐姆
  一般
  維度	2.7英寸寬 x 7英寸高 x 5.5英寸深 (6.9 x 17.8 x 14 厘米)
  重量	2.5 磅（1.4 公斤）

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