產(chǎn)品簡介
美國SIMCO思美高離子發(fā)生器，具有廣泛可調(diào)性的調(diào)制脈沖技術(shù) & ISO 14644-12 離子化
Simco-Ion, 技術(shù)集團的 Model 5635M AeroBar MP 離子化棒專為消除半導(dǎo)體和其他超凈制造過程中所需的快速放電時間、低擺動電壓和精密平衡而設(shè)計，但在這些過程中不允許暴露金屬表面。

產(chǎn)品型號：AeroBar® 5635M MP

更新時間：2025-12-29

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

訪問量：28

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美國SIMCO思美高離子發(fā)生器

具有廣泛可調(diào)性的調(diào)制脈沖技術(shù) & ISO 14644-12 離子化

Simco-Ion, 技術(shù)集團的 Model 5635M AeroBar MP 離子化棒專為消除半導(dǎo)體和其他超凈制造過程中所需的快速放電時間、低擺動電壓和精密平衡而設(shè)計，但在這些過程中不允許暴露金屬表面。AeroBar 使用 MP 技術(shù)，結(jié)合高頻率正弦波與調(diào)制脈沖（MP）提供高離子輸出和傳輸。這項突破性技術(shù)使 AeroBar 可以在離晶圓150毫米以內(nèi)安裝。MP 技術(shù)，結(jié)合超凈硅發(fā)射點和精密調(diào)整，提供 ISO 14644-12 離子化（0.01 µm 顆粒或納米顆粒）和 ISO 14644 Class 1（0.1 µm 顆粒）的清潔度，對于更小的技術(shù)節(jié)點至關(guān)重要。

ISO 14644-12 (0.01 µm粒子) 離子化和
ISO 14644 1級 (0.1 µm粒子) 清潔度
調(diào)制脈沖技術(shù)
無金屬設(shè)計 “M"
出色的橫向均勻性
低場電壓
氣輔助能力
可選軟件，界面易于使用，具有廣泛的可調(diào)性
報警輸出信號

美國SIMCO思美高離子發(fā)生器

規(guī)格

輸入電壓	輸入：24 VDC ±10% 電源輸入 RJ-45；0.7A（最-大）輸出：13.5 kV 峰峰值（最-大），可調(diào)
排放	在無空氣輔助的情況下，15秒內(nèi)±1000-100V（典型值），在發(fā)射器中心點下方24英寸處，Vp-p擺動為80
余額	<在受控環(huán)境中于18英寸距離測量為±35伏
離子發(fā)射	調(diào)制脈沖 (MP) 技術(shù)
發(fā)射器	ISO 14644-1 1類單晶硅
潔凈室等級	ISO 14644-1 (0.1 微米顆粒) 和擴展 ISO 1 級清潔度 (10 納米顆粒或納米顆粒)，使用 45-50% 輸出電壓設(shè)置和帶有單晶硅發(fā)射器的 OpenJet 噴嘴
維度	3.1英寸高 x 1.3英寸寬 x 13.8 / 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5英寸長 (7.8 x 3.4 x 35 / 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米)