




產品簡介
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測儀,PS-7通過更換傳感器單元可以檢測多種氣體
產品分類
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測儀
檢測對象
檢測范圍
檢測原理
檢測方式
應用行業
產品描述:通過更換傳感器單元可以檢測多種氣體
可通過PDA讀取數據
產品特點
· 通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導體材料氣體檢測器
· 傳感器經過校準和交付,無需現場氣體校準。此外,無需工具即可輕松更換傳感器
· 小巧·輕便的設計
· 通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度,報警狀態和錯誤信息
· 采樣流量的自動控制功能
· 當插入與設置不同的傳感器時,傳感器具有防止錯誤插入的功能
· 通過連接PDA,可以獲取存儲在檢測單元中的數據
· 轉換器單元(選件)可用于檢測NF3等氣體
· 符合CE標準
· 符合SEMI標準
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測儀
產品參數
| 型號 | PS-7 | |
| 類型 | 標準型 | 附帶轉換器組件型 |
| 檢測原理 | 定電位電解式、熱線型半導體式、隔膜伽伐尼電池式 | 熱分解+定電位電解式 |
| 檢測方式 | 泵吸引式(0.5L/min吸引流量自動控制) | |
| 采樣配管※1 | 特氟龍外徑6內徑4mm,配管距離在20m以內 | |
| 氣體濃度顯示 | 液晶數字四位顯示(附帶單位)20分割條形圖 | |
| 報警接點 | ||
| ◆氣體報警(1段以及2段) | ||
| ·報警 | : 紅色液晶指示燈閃爍 | : 液晶畫面 |
| 第1段:ALARM1 | ||
| 第2段:ALARM1、ALARM2顯示 | ||
| ◆流量降低報警 | ||
| ·堵塞指示顯示 | : 流量顯示為低速運轉 | |
| ·報警 | : 黃色LED指示燈閃爍 | : 液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運轉狀態 |
| ◆傳感器故障報警/傳感器誤插入報警 | ||
| ·報警 | : 黃色LED指示燈閃爍 | : 液晶畫面 SENS.顯示 |
| ◆熱分解爐斷線報警※2 | ||
| ·報警 | : 黃色LED指示燈閃爍 | : 液晶畫面CONV.顯示 |
| 外部輸出 | ·氣體濃度模擬輸出DC4~20mA(與電源的負極通用) | |
| ·氣體報警接點(1段以及2段)1a無電壓接點/自動復位 | ||
| ·故障報警接點(開路集電極/自動復位) | ||
| 適用電纜線 | 控制用屏蔽電纜線(Ф8~11mm)x23芯或者4芯 | |
| 使用溫度濕度范圍 | 0℃~40℃(但是,溫度無劇烈變化),30~85%RH(無結露現象) | |
| 電源 | DC24V±10% | |
| 消耗電力 | 約7W | 約10W |
| 外形尺寸 | W62xH124xD143mm(選購品和突出部分除外) | |
| 重量 | 約1.0kg | |
| 安裝方法 | 壁掛式 | |
※1.推薦使用特氟龍。但是如果是吸附性較強的氣體時,根據使用情況的不同也將有所差異,因此,請向本公司進行咨詢。產品有可能改進而對上述規格進行修改,對此恕不預先通知用戶。
※2.僅限于附帶轉換器的產品
對應氣體一覽表
| 氣體種類 | 滿量程 | 檢測原理 | 組件類型 |
| SiH? | 5/25μmol/mol | 定電位電解式 | CDS-7 |
| PH? | 1μmol/mol | ||
| B?H? | 500nmol/mol | ||
| AsH? | 250nmol/mol | ||
| H?Se | 250nmol/mol | ||
| Si?H? | 25μmol/mol | ||
| SiH?Cl? | 25μmol/mol | ||
| GeH? | 1 μmol/mol | ||
| NH? | 100μmol/mol | ||
| HF | 10μmol/mol | ||
| PF? | 10μmol/mol | ||
| HCl | 5/25μmol/mol | ||
| HBr | 10μmol/mol | ||
| F? | 5μmol/mol | ||
| CI? | 5μmol/mol | ||
| CIF? | 1μmol/mol | ||
| O? | 1μmol/mol | ||
| CO | 250μmol/mol | ||
| H?S | 50μmol/mol | ||
| NF? | 100μmol/mol | 定電位電解式(用于轉換器單元) | |
| CCI? | 100μmol/mol | ||
| H? | 500/1000μmol/mol | 熱線型半導體式 | CHS-7 |
| O? | 25vol% | 伽伐尼電池式 | COS-7 |
.可連接報警器
· UV-810(多點檢測)
· V3系列(面板嵌入式)
· NV-100M(單點檢測)














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